Leybold分子泵的工作原理是什么？有人知道吗？

Edwards真空分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不.. 全文

涡轮分子泵作为高精密真空设备，其维修服务费用受多重因素影响，通常单次维修成本在3000元至3万元不等，具体费用需结合故障类型、品牌型号及服务商资质综合评估。 一、维修费用构成1. 检测诊断费（300-.. 全文

<div style="text-align:center;margin:5px 0;"><img src="https://upimg300.dns4.cn/pic/257062/p5/202305.. 全文

检查真空表是不是出现了问题，爱德华分子泵维修出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示.. 全文