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异物进入Pfeiffer涡轮分子:工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时,会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害,建议立即停机送修检测。 全文
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分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是好的方式?答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。 全文