谁能回答！Edwards真空分子泵维修的维修注意事项有哪些？

真空度很好的情况下，Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文

磁悬浮分子泵作为高精度真空设备的部件，其可靠运行依赖于科学规范的维护保养。磁悬浮分子泵的维护在于预防为主、精细监控、规范操作、介入。通过严格执行清洁、冷却、振动监测、参数记录等日常预防性工作，结合定期.. 全文

Edwards二手分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶.. 全文

Edwards二手分子泵低振动：磁悬浮意味着无摩擦，因此振动很低，此外这种特性能够保持不变，并且不会随零件磨损而化。 全文