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请问：爱德华Edwards 磁悬浮涡轮分子泵故障维修的方法？

请问：爱德华Edwards 磁悬浮涡轮分子泵故障维修的方法？
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  • 爱德华Edwards磁悬浮涡轮分子泵漏油：这是真空泵zui普遍的缺陷之一，主要产生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个方向上，其主要缘故是真空泵使用时间较长而造成这些位置老化，密封无效，随后造成漏油。
  • 爱德华Edwards 多轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态，消除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏的风险，同时将噪声和振动降至Z低。
  • 爱德华Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵,对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用，Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵是优选泵。
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