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Leybold分子泵的工作原理是什么？ 有谁可以回答一下吗？

Leybold分子泵的工作原理是什么？ 有谁可以回答一下吗？
http://www.tz1288.com/ask/5042536.html
  • Leybold分子泵应用范围：食品包装、金属工业、石化工业、真空热处理、真空吸塑、药科技、电子科技、半导体工业、真空电镀等行业
  • Leybold分子泵拥有非常强的排除水蒸气的能力；可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。
  • Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。
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