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问一下：维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？

问一下：维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？
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  • Edwards真空分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
  • 当Edwards真空分子泵维修出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。
  • Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
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