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维修Edwards进口分子泵时需要注意什么？ 有懂行的吗？

维修Edwards进口分子泵时需要注意什么？ 有懂行的吗？
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  • Edwards进口分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
  • Edwards进口分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
  • 当Edwards进口分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
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