爱德华分子泵控制器怎样维修？ 知道的请回答

封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供.. 全文

检查真空表是不是出现了问题，爱德华分子泵控制器出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指.. 全文

当爱德华分子泵维修出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。 全文

真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处，主要原因是磨损时间过长，密封件损坏或装配不良—未压紧和上紧螺钉时用力不均—而造成。 全文