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varian涡轮分子泵使用时需要注意什么

varian涡轮分子泵使用时需要注意什么
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  • varian涡轮分子泵操作完成后，应先关闭高真空阀，然后再关闭低真空阀。然后停止旋转叶片真空泵，然后放气（例如，使用电磁真空皮带放气阀自动放气），以避免机油回流到真空系统，终切断了主电源。停水了。
  • varian涡轮分子泵长时间未操作或环境温度较低时，可能会导致启动困难。此时，真空泵的吸入口应排空到大气中，并且皮带轮应随风旋转。储存在腔体中的机油将排入燃油箱并可以启动。如果不可能，则可以通过辐射加热或红外灯直接加热真空泵，直到动态停止为止。
  • 在正常传输之前，应对真空泵进行一次测试，以检查varian涡轮分子泵是否具有异常的振动和冲击动力学特性。使用的真空泵还应确定真空泵的极限压力，该极限压力应符合技术标准。在长期运行的条件下，真空泵不应超过70度。干抽速的测定。干燥比较复杂，通常不检查。
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