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Edwards进口分子泵维修要注意哪些？ 有懂行的吗？

Edwards进口分子泵维修要注意哪些？ 有懂行的吗？
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  • Edwards进口分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
  • Edwards进口分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
  • 当Edwards进口分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
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