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请问：怎么维修Leybold分子泵？大家可以说一下吗？

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Leybold分子泵低噪音，低振动。结构紧凑，体型小，节省空间。在低压强下仍能保持高的抽速。
Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。
Leybold分子泵设计简单，体积轻巧，单段油回旋旋片式真空泵；莱宝单级旋片真空泵，高真空度极限压力0.08mbar，功率4kw

求帮助！如何维修Edwards二手分子泵？感谢回答

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