如何维修德国Leybold分子泵？ 有谁可以回答一下吗？

varian涡轮分子泵操作完成后，应先关闭高真空阀，然后再关闭低真空阀。然后停止旋转叶片真空泵，然后放气（例如，使用电磁真空皮带放气阀自动放气），以避免机油回流到真空系统，终切断了主电源。停水了。 全文

德国Leybold分子泵出口油雾过滤器为标准配置，真空泵油循环使用，无油烟，清洁、环保、省油。 全文

检查真空表是不是出现了问题，Edwards二手分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵.. 全文

Edwards进口分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。 全文