大神们！麻烦回答一下有什么方法维修Edwards进口分子泵？

爱德华分子泵控制器低振动：磁悬浮意味着无摩擦，因此振动很低，此外这种特性能够保持不变，并且不会随零件磨损而化。 全文

爱德华分子泵维修特点优势： 先进的油压回路可提供有效的润滑（即使是在高气体负荷下） 当泵关闭时，弹簧式分配阀可提供油和空气反吸保护 气镇控制可帮助处理高水蒸汽负荷 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承，可靠.. 全文

分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象? 原因：附近有光照或其他热源。 解决方法：避免光照或热源。 全文

Edwards进口分子泵轴承为什么会烧毁 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘 全文