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请问：Edwards进口分子泵怎样维修？

请问：Edwards进口分子泵怎样维修？
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  • Edwards进口分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解决方法：检查系统
  • Edwards进口分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
  • 正常使用下，为什么Edwards进口分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统
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