帮忙一下，怎么维修Leybold分子泵？

<div style="text-align:center;margin:5px 0;"><img src="https://upimg300.dns4.cn/pic/257062/p12/20230.. 全文

爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解.. 全文

Edwards真空分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不.. 全文

磁悬浮分子泵作为高精密真空设备，其维修成本受多重因素影响，常规维修费用通常在5000-30000元区间波动。以下从技术维度解析价格构成要素：1. 组件损耗成本磁悬浮轴承组维修占比达总费用40%-60%.. 全文