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超纯氩气是一种惰性气体,在常温下与其它物质均不发生化学反应,在高温下也不溶于液态金属中,故在焊接有色金属时更能显示其优越性,超纯氩气是一种单原子气体,在高温下,超纯氩气直接离解为正离子和电子,因此能量.. 全文
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在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气.. 全文
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每瓶氦气在运用到尾气时,应保存瓶内余压在0.5MPa,小不得低于0.25MPa余压,应将瓶阀封闭,以确保气体质量和运用安全。瓶装氦气在运送储存、运用时都应分类堆放,禁绝挨近明火和热源,应做到勿近火、勿.. 全文