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在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气.. 全文

氩气保护气体。用作电弧焊接（切割）不锈钢、镁、铝、和其它合金的保护气体。热处理工艺也用于代替氮气和氨气，效果更是超过氮气和氨气，不锈钢热处理时采用氩气保护折弯效果更好不易断裂。 全文

超纯氮气照明。还用于钢铁、铝、钛和锆的冶炼中。放电时氩发出紫色辉光，又用于照明技术和填充日光灯、光电管、照明管等。 全文

高纯氮气电子---为超纯半导体中使用的锗和硅晶体提供保护气氛和热传导。照明---用于白枳灯和荧光灯泡的充气；在灯中制造蓝光 。 全文