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从高纯，超高纯氮气供应商购买氮气的气瓶必须由质量检验单位定期进行技术检查，严禁使用安全阀超期的气瓶。充装一般气体的气瓶每三年检查一次，如在使用中发生有严重腐蚀或严重损伤的，应提前进行检验。.
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。
氮气(N2)：相对分子质量较大、扩散系数小、柱效相对较高、安全、价格便宜，因此，这4种气体中常用的载气，在氢火焰离子化检测器中常用，但由于其热导系数低、灵敏度差、定量线性范围较窄，因此在热导检测器中少用。

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与传统的空气测验办法比较，氦气检测办法具有许多优越性。首先，空气检测法对温度十分敏感，热部件或待冷却部件都会造成质量流量不准确或无法重复测验；其次，待测量产品体积对示踪气体检漏测验毫无影响，但体积大会.. 全文
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