双频球面激光干涉仪调光步骤是什么?求解答
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  • 放置直线度反射镜,检测其顶面是否水平。在直线度反射镜中间刻度线处安装一光靶,光靶小光孔与干涉镜小光孔同侧,只调节直线度反射镜,使激光正对光靶小光孔。

  • 由光学直角尺射出经直线度反射线返回的两条光线若不在同一法线上,需旋转主轴上安装在回射反射镜中的干涉镜进行调节。

  • 沿着两条标称相互垂直的轴,利用一个共同的基准,分别进行直线度测量,从而测量其垂直度。通常,这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线,在两次直线度测量期间,即不能移动(相对于工作台),也不能调整反射镜。这两次直线度测量,至少有一次是利用光学直角尺完成的。

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