谁能帮助我!上海特种气体的分类有什么?
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  • 特种气体门类繁多,通常可区分为电子气体,标准气,环保气,医1用气,焊接气,杀菌气等。

  • 特种气体氟气用于半导体器件制备工艺中等离子干刻;另外,用于制备六1氟化铀、六氟化硫、三氟1化硼和金属氟化物等。

  • 一氧化氮用作标准气、校正气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序;制备监控大气污染的标准混合气。

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