南京特种气体分类是什么?
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  • 化工特种气体在不同的情况下是不一样的,一般而言是氧气,氮气,二氧化碳,氢气等。

  • 氨气用作标准气、校正气、在线仪表标准气;用于半导体器件制备工艺中氮化工序;另外,用于制冷、化肥、石油、采1矿、橡胶等工业。

  • 特种气体氟气用于半导体器件制备工艺中等离子干刻;另外,用于制备六1氟化铀、六氟化硫、三氟1化硼和金属氟化物等。

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